Bpure Series 立式/臥式管舟清洗機(jī)
Bpure Series Vertical/Horizo ntal Tube/Boat Cleaning System
Bpure系列立式/臥式管舟清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于集成電路、封裝、光伏等領(lǐng)域。采用浸泡式處理工藝，主要用于12英寸及以下尺寸的擴(kuò)散、外延等設(shè)備的石英管/舟、碳化硅管的清洗。此外，也可以用于清洗其它石英材質(zhì)的零部件，如石英板、點(diǎn)火炮、保溫桶等。
設(shè)備特點(diǎn)
- 全自動(dòng)清洗，浸泡式清洗與噴淋式清洗工藝可選
- 一機(jī)多用，可兼容石英管/舟/工件清洗
- 自主研發(fā)控制系統(tǒng)，友好的人機(jī)交互界面
- 自動(dòng)配液系統(tǒng)，換酸便捷
- 分級(jí)安全互鎖設(shè)置，確保設(shè)備安全可靠
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晶圓尺寸
8、12 英寸
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適用材料
石英、碳化硅
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適用工藝
石英管/ 舟、石英板、點(diǎn)火炮、基座等零部件浸泡式清洗
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適用領(lǐng)域
集成電路、功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、科研領(lǐng)域