1 名稱 HF-RS-A（氧化亞硅專用升華爐）
2 爐型 臥室
3 設備組成 升華系統、加熱系統、溫控系統、真空系統、機械系統、冷卻系統
4 升華系統由燒結區和收集區組成。 收集倉的材質由客戶
5 溫控系統采用 PLC 觸屏控制方式
6 加熱系統該設備采用電阻絲加熱
7 真空系統真空泵真空閥門及管路組成
8 機械部分區外殼采用 304 不銹鋼制作
9 冷卻系統 該設備配置兩段的冷卻系統
10 外形尺寸 1600mm*700mm*1600mm (終以設計尺寸為主)
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