黃河光伏太陽能電池伏氧化鋁背鈍化技術突破性進展

    鋰電世界  2013年真是光伏的人好利年，光伏好政策不斷的推行，光伏的技術不斷的更新。最近黃河光伏宣布經過技術研發部經過近一年的技術攻關，公司在單晶和多晶高效太陽能電池片技術研發方面取得了突破性的進展。

    此種技術是通過采用氧化鋁背鈍化工藝，單晶電池轉換效率達到了18.95%。多晶電池通過采用反應離子刻蝕(RIE)工藝，電池平均轉換效率比過去提升了0.5%，最高效率達到17.90%。

    背鈍化工藝采用原子層沉積(ALD)或等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)工藝在硅片背面形成氧化鋁膜層，然后再在該膜的基礎上生長一層氮化硅膜進行保護。通過在背鈍化膜層采用激光開孔工藝，結合背鈍化鋁漿和相匹配的燒結工藝，通過降低背面復合速率，提高該開路電壓實現單晶電池轉換效率的提升。

    多晶硅高效電池采用了RIE制絨技術，在多晶硅片制絨后使用等離子體在硅片表面進行轟擊刻蝕，使硅片表面形成微小絨面，從而達到降低硅片表面光反射的目的，由于多晶硅電池對光的吸收增強，短路電流提高，電池轉換效率因此提高。

    因為此技術是緊緊跟蹤國內外光伏領域最新生產技術工藝發展動向，精心制定了研發方案和技術路線。研發人員五次赴武漢帝爾激光和湖北仙桃弘元光伏公司進行相關匹配試驗。其中帝爾激光生產有專用于背面開孔的激光設備。